沈阳新松半导体设备有限公司成立于2023年，是一家专注于半导体晶圆传输专用设备的研发、生产、销售与技术服务的高新技术企业。公司前身为新松机器人自动化股份有限公司半导体装备事业部，核心团队经过近20年的技术沉淀与经验积累，打造了拥有完全自主知识产权的自动化核心系列产品，技术指标达到国际同类产品先进水平。公司在北京、上海分别成立北京新松半导体有限公司和上海新松朴智半导体设备有限公司，目前拥有300 余人的高水平技术研发团队，10000余平方米的洁净工厂，具有行业领先的产品开发及规模化生产交付能力。公司创新产品现已广泛运用于各种半导体工艺制程，为世界各地的半导体设备供应商提供高效和可靠的自动化解决。

产品简介：真空直驱机械手是半导体制程的核心传输设备，解决了真空腔室内晶圆自动化输送的“卡脖子”难题。新松真空直驱机械手产品拥有领先的重复定位精度、高效的传输节拍、灵敏的碰撞保护以及AWC动态纠偏等功能，可根据用户需求定制手臂长度和手指形式，胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。新松真空直驱机械手已通过SEMI权威认证，广泛应用于PVD、CVD、刻蚀等集成电路整机装备中，彻底打破国外技术垄断，核心技术完全自主可控。